国家/地区 美国(84) 中国(16) 德国(14) 世界知识产权组织(13) 英国(11) 台湾(4) 印度(3) 日本(3) 韩国(3) 加拿大(2)
IPC部 B(85)
IPC大类 B82(66) H01(61) C01(21)
B32(17) G01(14) C23(9)
B05(6) C12(4) H05(4)
C25(3) B01(2) B42(2)
B44(2) C07(2) C08(2)
IPC小类 B82Y(66) H01L(59) C01B(21)
B32B(17) G01N(14) H01B(7)
C23C(6) B05D(4) C12Q(4)
C23F(4) H05K(4) B82B(3)
C25F(3) B42D(2) B44C(2)
IPC B82Y040/00(42) B82Y030/00(26) B82Y099/00(22)
H01L029/06(21) H01L029/16(20) H01L029/78(17)
B82Y010/00(16) H01L021/336(16) C01B031/04(14)
H01L021/02(13) H01L051/05(13) H01L029/66(11)
H01L051/00(11) H01L029/775(10) B32B009/00(9)
发明人 AFZALIARDAKANI A(15) DIMITRAKOPOULOS C D(15) GRILL A(12)
AVOURIS P(11) HAN S(11) ZHU W(11)
FARMER D B(10) LIN Y(9) MAAROUF A(8)
MARTYNA G J(8) TULEVSKI G S(8) DIMITRAKOPOULOS C(7)
LI X(6) PENG H(6) SUNG C(6)
公开年 2013(26) 2014(18) 2012(12) 2015(12) 2011(5) 2016(2) 2018(2) 2021(2) 2022(2) 2023(2)
申请年 2012(30)  2011(14)  2013(12)  2015(8)  2010(5)  2014(4)  2017(2)  2019(2)  2021(2) 
专利权人 INT BUSINESS MACHINES CORP(85)